Guia de seleção de bomba de vácuo ---
Ao escolher uma bomba de vácuo, você precisa prestar atenção aos seguintes assuntos:
1. A pressão de trabalho da bomba de vácuo deve atender aos requisitos finais de vácuo e pressão de trabalho do equipamento de vácuo. Por exemplo: o revestimento a vácuo requer um grau de vácuo de 110-5mmHg, e o grau de vácuo da bomba de vácuo selecionada deve ser de pelo menos 510-6mmHg. Normalmente, o grau de vácuo da bomba é selecionado para ser metade a uma ordem de grandeza superior ao grau de vácuo do equipamento de vácuo.
2. Selecione corretamente o ponto de trabalho da bomba de vácuo. Cada tipo de bomba possui uma determinada faixa de pressão de trabalho, como 10-3~10-7mmHg para uma bomba de difusão. Dentro de uma faixa de pressão tão ampla, a velocidade de bombeamento da bomba muda com a pressão, e sua faixa de pressão de trabalho estável é de 510-4 ~510-6mmHg. Portanto, o ponto de trabalho da bomba deve ser selecionado dentro desta faixa e não pode funcionar abaixo de 10-8mmHg por um longo período. Outro exemplo é que a bomba de sublimação de titânio pode funcionar a 10-2mmHg, mas sua pressão de trabalho deve ser inferior a 110-5mmHg.
3. A bomba de vácuo deve ser capaz de descarregar todo o gás gerado durante o processo do equipamento de vácuo sob sua pressão de trabalho. 4. Combine corretamente a bomba de vácuo. Como as bombas de vácuo possuem capacidades de bombeamento seletivo, às vezes um tipo de bomba não consegue atender aos requisitos de bombeamento e várias bombas precisam ser combinadas para se complementarem para atender aos requisitos de bombeamento. Por exemplo, uma bomba de sublimação de titânio tem uma alta velocidade de bombeamento para hidrogênio, mas não pode bombear hélio, enquanto uma bomba de íons de pulverização catódica tripola (ou uma bomba de íons de pulverização catódica assimétrica de diodo) tem uma certa velocidade de bombeamento para argônio. Combinados, o dispositivo de vácuo obterá um melhor grau de vácuo. Além disso, algumas bombas de vácuo não podem funcionar sob pressão atmosférica e requerem pré-vácuo; algumas bombas de vácuo têm pressões de saída inferiores à pressão atmosférica e requerem uma bomba de apoio, portanto as bombas precisam ser combinadas.
5. Requisitos para poluição por óleo em equipamentos de vácuo. Se o equipamento exigir estritamente isento de óleo, várias bombas isentas de óleo devem ser selecionadas, tais como: bombas de anel de água, bombas de adsorção de peneira molecular, bombas de íons de pulverização catódica, bombas criogênicas, etc. tenha uma bomba de óleo e adicione algumas medidas antipoluição por óleo, como adicionar coletores de frio, defletores, coletores de óleo, etc., para atingir os requisitos de vácuo limpo.
6. Compreender a composição do gás bombeado, se contém vapor condensável, se há poeira particulada, se é corrosivo, etc. Ao selecionar uma bomba de vácuo, você precisa conhecer a composição do gás e selecionar a bomba correspondente para o gás para ser bombeado. Se o gás contiver vapor, partículas e gases corrosivos, considere instalar equipamentos auxiliares, como condensadores, coletores de pó, etc., na tubulação de entrada de ar da bomba.
7. Qual é o impacto do vapor de óleo descarregado da bomba de vácuo no meio ambiente? Se o ambiente não permitir poluição, você pode escolher uma bomba de vácuo sem óleo ou descarregar o vapor do óleo para fora.
8. A vibração gerada pela bomba de vácuo durante a operação tem algum impacto no processo e no meio ambiente? Se o processo não o permitir, deve ser selecionada uma bomba sem vibrações ou devem ser tomadas medidas antivibratórias.
9. O preço, custos de operação e manutenção das bombas de vácuo.